【先進制造】【新能源】【新材料】******021大尺寸超高導熱金剛石單晶制備技術******學院)
【成果簡介】
隨著高頻電子裝備集成化及5G通信、物聯(lián)網、超算及數據中心等戰(zhàn)略新興行業(yè)的應用數量驟增，功耗指數級增長，器件散熱成為限制關鍵應用的最大瓶頸。團隊圍繞節(jié)能減排、智能制造、高頻通信等國家重大戰(zhàn)略對超高導熱材料提出的迫切需求，完成了新模式微波CVD研制、低缺陷高導熱金剛石生長、器件兼容金剛石增強導熱應用驗證等內容，發(fā)明了氧化物介質層調控界面載流子輸運技術，抑制載流子界面復合，獲得了高開路電壓(1.7V)、抗輻照、長壽命金剛石同位素電池，打破國外技術壁壘，建立自有知識產權體系，裝備及材料性能得到行業(yè)認可。相關研究成果榮獲中國專利金獎。
【技術指標】
該技術采用自研設備配套晶體生長工藝，提升金剛石熱導率突2400W/(m·K)，協(xié)同實現(xiàn)了金剛石高品質及高速率兩個關鍵要素，降低成本，有助于產業(yè)化應用。突破了金剛石三維集成封裝的通孔加工宏量制備與沉銅電連接技術瓶頸，界面連接強度提高5倍以上，微波功率器件電流密度提升10%以上。
【典型應用】
該技術可廣泛應用于金剛石材料生長制備，用于下一代半導體襯底研發(fā)、半導體散熱、高能激光******集團GaN器件、華為相關散熱應用等。
【聯(lián)系人及聯(lián)系方式】
喬老師，0451-******
馬老師，0451-******
